美國派克UHP 隔膜閥930系列技術(shù)參數(shù)：

派克930系列1-1 / 8英寸不銹鋼閥體隔膜閥提供優(yōu)異的泄漏完整性，高循環(huán)使用壽命和低顆粒發(fā)生，非常適用于UHP半導(dǎo)體應(yīng)用。

930系列采用不與過程流體接觸無螺紋或彈簧設(shè)計，可大限度地減少顆粒產(chǎn)生和截留，減少半導(dǎo)體應(yīng)用中*的工藝污染。該系列閥門的嚴(yán)格設(shè)計，控制閥座和隔膜應(yīng)力，以提供穩(wěn)定和免維護(hù)的使用壽命。930系列閥門潤濕部件由特種金屬制成，提供的耐腐蝕性和泄漏完整性。閥體是內(nèi)部采用電拋光處理的Vericlean™ 316L不銹鋼材質(zhì)。 Vericlean™ 是派克的UHP級不銹鋼。隔膜是高強度鈷基合金材質(zhì)。 930系列還提供聚三氟氯乙烯（PCTFE），聚醚醚酮樹脂（PEEK®）和聚酰亞胺（Vespel®）材質(zhì)的閥座，可使930閥門與多種工藝流體相兼容。這些材料結(jié)合930系列嚴(yán)格的設(shè)計特點，給予了930系列產(chǎn)品在入口壓力高達(dá)300 psig時的耐腐蝕性和更大循環(huán)使用壽命。

930系列氣動閥可以配置限位開關(guān)或接近開關(guān)，用以提供開 - 關(guān)位置指示。還有多種閥體構(gòu)造可選，包括930Y系列（Y型閥）和SM930系列（面板安裝）。

930系列閥門上內(nèi)部（閥座）密封件和密封外的金屬部件均通過質(zhì)譜儀進(jìn)行氦氣泄露測試，以適應(yīng)在苛刻的UHP應(yīng)用中，保有其性能和穩(wěn)定性。

市場：
• 半導(dǎo)體
• 分析實驗室
• 制藥
• 生物制藥
• 航空航天
• 工業(yè)

特點與優(yōu)勢：
• 電拋光表面光潔度：5微英寸（Ra）
• 高循環(huán)使用壽命（包括耐腐蝕服務(wù)）
• 內(nèi)部無彈簧和無螺紋設(shè)計可大限度地減少顆粒產(chǎn)生和氣體截留
• 全壓力范圍使用:從真空到300 psig
• 內(nèi)部泄漏率：≤1 x 10-9 scc / sec He
• 外部泄漏率：≤2 x 10-10 scc / sec He
• AOP驅(qū)動，額定壓力為75 psig

應(yīng)用：
• 腐蝕性氣體和特種氣體
• 半導(dǎo)體工具
• 工具連接
• 燃?xì)夤?br />• 閥組箱（VMB）